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半導體凈化工程潔凈度檢測方法一、檢測設備與**參數?光散射式塵埃粒子計數器?主流設備支持 ?0.3–10μm 六粒徑通道同步檢測?,實時顯示動態數據,符合 ?GB/T 6167-2007? 和 ?JJF 1190-2008? 國家標準?。??
?工作原理?通過真空泵將含氣溶膠的氣流抽入光散射室,顆粒物散射光線至光電倍增管,光信號經轉換、放大和數字化處理后,由微處理器分析散射光強度,并與標準物質對比得出質量濃度?15。**組件:真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理模塊?56。光源類型:**命LED或二極管激光器,確保穩定性?16。?技術參數?檢測范圍:0.0001%—**泄露率(動態范圍0.0001—600μg/L)?67。流量控制
如何校準塵埃粒子計數器?一、校準前準備?環境要求?校準需在溫度15℃-35℃、濕度≤85%、潔凈度≤10000級的潔凈室或凈化區內進行,避免電磁干擾和氣流擾動?。確保電源穩定(220V±10%,50Hz±2Hz)?。?設備與工具??標準粒子發生器?:產生已知粒徑(如1-10μm)和濃度的單分散粒子(如聚苯乙烯乳膠球),粒徑分布誤差≤5%?。?流量計?:驗證儀器采樣流量穩定性(誤差±5%)?。?溫濕
CLJ-3016T塵埃粒子計數器性能全面提升1、光源:進口半導體激光器 標配0.3微米傳感器2、采樣流量:2.83L/min,28.3L/min,50L/min,100L/min,內置進口霍尼韋爾數字流量傳感器(精度達到0.01%,市面上的只能做到5%),根椐新標準的要求流量需要自動閉環控制,保持流量的穩定,所以需要內置數字流量傳感器, 訂貨時說明所需采樣量。大流量采用雙流量切換測量。28.3升雙
公司名: 蘇州星源潔凈環境科技有限公司
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