5軸水平多關節型晶圓搬送機械臂

時間：2021-11-16

作者：上海衡鵬實業有限公司

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GDM300是具有雙拋光工位的全自動晶圓研磨機晶圓拋光GDM300全自動晶圓研磨機特長： ·采用全自動系統，從后磨到貼裝的連續過程，可研磨至25um厚度。 ·2個磨頭階段，產量幾乎是1個磨頭系統的兩倍。 ·內置修邊系統可作為薄型晶圓加工的選擇。 ·雙指標體系，拋光階段和研磨階段完全分離，滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔。 ·超亮度小于Ra1A，可超鏡面。了解更多：http://www.hap