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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的較高油溫**過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件*老化;熱膨脹使運轉間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內孔間隙,影響泵運轉的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進氣溫度太高
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵散熱油管堵塞疏通及日常維護方法:1、找一個干凈的托盤,內倒入足夠量的干凈水,添加入洗滌劑(不可使用腐蝕性洗滌劑)。2、將真空泵散熱油管從真空泵中拆卸下來,用風槍對準一頭的管孔,不管能不能吹出臟物,此步可間斷性操作。3、頭幾次會吹出多的臟物,等吹到沒有多少東西出來時,將散熱油管置于溶解洗滌劑的托盤內浸泡4-6h。4、在浸泡的過程中,可適當的按照堵塞情況多次拿出用風槍對準管口吹。5、浸泡完后再次
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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