氮化鋁陶瓷基板廠家應具備哪些資質和工藝能力

時間：2021-04-14作者：深圳市金瑞欣特種電路技術有限公司瀏覽：165

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  采用磁控濺射法在氧化鋁陶瓷基板上制備了Cu薄膜,利用臺階測試儀、XRD以及半導體測試儀對薄膜的厚度、結構及電學特性進行了表征及測試。結果表明,當濺射電流為0.6 A,氬氣流量為100 cm3/min時,制備出的薄膜結晶特性良好,具有優(yōu)異的電學特性。通過進一步深入研究,揭示了工藝參數(shù)影響薄膜性能的物理機理。 薄膜電路是利用真空鍍膜、紫外光刻、刻蝕以及電鍍工藝,在陶瓷基板上制作導體、無源器件和絕緣介

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