詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵的保養(yǎng):?????(1)每天對(duì)油位進(jìn)行檢查,油位過(guò)高,使溫度升高,油位過(guò)低,造成潤(rùn)滑不良。每月檢查油的品質(zhì),如果變質(zhì)須馬上換。?????(2)每天檢查泵的溫升,電機(jī)負(fù)荷及溫升。????(3)定期檢查羅茨泵的軸承、油封、齒輪等部件,如有損壞應(yīng)予換。&n
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵的安裝 1、安裝 安裝場(chǎng)所寬闊、采光良好,空氣的相對(duì)濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。 環(huán)境溫度:5—30攝氏度。 環(huán)境壓力:大氣壓。 預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。 真空泵運(yùn)作時(shí),表面溫度可以達(dá)到72℃以上,小心燙傷。 請(qǐng)確保真空泵的安放位置易于看見(jiàn)油位鏡。? 2、配管、基礎(chǔ) 主管路配管時(shí),管路通徑不能小
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