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詞條說明
真空系統的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內獲得所需的真空和工作真空度。真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地真空度。真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣,如果工作真空度差,
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。XD型旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產生真空,需換葉片。4
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
使用真空泵的注意事項1.?正常運傳前,真空泵應先做一次試運轉,檢查真空泵有無異常振動及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測定真空泵的壓強,應符合技術規范。真空泵在*工作的條件下,真空泵溫不應過70度。至于抽速的測定.由于比較復雜,一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機械真空泵.在開機前應先通冷卻水,然后再啟動。冷卻水的出口水溫不宜過30度。3.?*安裝真空泵時,應檢查電機是
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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