詞條
詞條說(shuō)明
等離子體清洗機(jī)的表面處理技術(shù)是利用等離子體實(shí)現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達(dá)到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也稱為物質(zhì)的四態(tài),與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量,使其離化,即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括:離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對(duì)試樣表面進(jìn)行處理,達(dá)到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學(xué)或物理處理后,可在分子水平上去除污染物,從而提高工件表面活性。在微電子技
物體表面等離子體清洗機(jī)處理后,常常會(huì)生成許多新的活性基因,使物體表面活化,改變其性能,可提高物體表面的潤(rùn)濕性和附著力,等離子體清洗機(jī)表面處理是一種新型干法,等離子清洗機(jī)既能改變材料的表面結(jié)構(gòu),又能控制界面的性質(zhì),又能實(shí)現(xiàn)表面處理。也可按要求涂覆,等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處
等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī)工藝原理及使用 1) 等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī)反應(yīng)機(jī)理: ? ?在干法等離子去膠技術(shù)中,氧是首要腐蝕氣體。它在真空等離子去膠機(jī)反響室中受高頻及微波能量效果,電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子 O*、氧分子和電子等混合的等離子體,其間具有強(qiáng)氧化才能的游離態(tài)氧原子 (約占 10-20%)在高頻電壓效果下與光刻膠膜反響: O2→O*+ O*, CxHy + O
大氣常壓與真空等離子體清洗機(jī)設(shè)備區(qū)別
大氣常壓等離子清洗機(jī)又稱常壓射流等離子處理機(jī),即在普通大氣的環(huán)境下進(jìn)行等離子清洗。大氣等離子清洗機(jī)由等離子發(fā)生器、氣體輸送管及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體,借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面,當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí),產(chǎn)生了化學(xué)作用和物理變化,表面得到了清潔,去除了碳化氫類污物,如油脂、輔助添加劑等,根據(jù)材
公司名: 煙臺(tái)金鷹科技有限公司
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